XYZ微型显微镜平台
产品特性：
XY轴为直线电机，集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.75um
Z轴采用高精度私服电机+丝杆结构，光栅尺
反馈，重复定位精度±0.5um
典型应用领域：
8寸，12寸晶圆检测
*如需详细参数，请联系雅科贝思销售工程师（邮箱：cust-service@akribis-sys.cn）
