产品特性：
XY十字叠加结构，内置直线电机，步进/扫描
Z轴采用特别设计，用于光学调焦，重复定位精度±1um
XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um
底座为采用大理石材料，可以很好的保证下轴高的平面度
典型应用领域：8寸/12寸晶圆检测
*如需详细参数，请联系雅科贝思销售工程师（邮箱：cust-service@akribis-sys.cn）
