产品特性：
XY十字叠加结构，内置直线电机，步进/扫描
Z轴采用高精度音圈电机，用于光学调焦，重复定位精度±0.2um
XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um
典型应用领域：6/8寸/12寸晶圆检测
*如需详细参数，请联系雅科贝思销售工程师（邮箱：cust-service@akribis-sys.cn）
